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发布时间: 2023-01-10 14:38
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详细信息
它在光刻胶上有光刻图案问题的晶圆可被通过去掉光刻胶的办法而进行重新工艺处理。
重新工艺处理会造成粘贴问题并且再次的传输操作会导致晶圆污染和损坏。
显影检验良品率和重新工艺处理率随掩膜水平而变。
有定位不准的图案;有表面问题如光刻胶的污染、空洞或划伤及污点和其它的表面不规则。
一般使用热板或烘箱来控制温度变化。
光刻工艺中的坚膜工序。



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在显影检验工艺,工程师有个判断工艺的性能机会。
显影检验步骤的第二个重要性与在检验时作的拒收有关。
工艺工程师的目标是保持尽可能低的重新工艺处理率,处理率应小于10%,而5%是一个受欢迎的水平。
一个原因是经过重新工艺处理的晶圆在终工艺完成时有较低的分选良品率。
保持低重新工艺处理率的第二个原因与在进行重新工艺处理晶圆时要求另外的计算和区分有关。



拉丝面曝光显影-利成感光五金厂-拉丝面曝光显影厂家由东莞市清溪利成感光五金厂提供。
东莞市清溪利成感光五金厂位于东莞市清溪镇三中老中坑莲湖街5号。
在市场经济的浪潮中拼博和发展,目前利成感光在树脂工艺品中享有良好的声誉。
利成感光取得全网商盟认证,标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。
利成感光全体员工愿与各界有识之士共同发展,共创美好未来。

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