总体上，在掩膜次序中有较宽的特征图形尺寸、较平的表面和较低的密度，所有这些会使掩膜良品率更高。
首先，一部分晶圆会从上一步留下来问题而要停止工艺处理。
这些晶圆在显影检验时会被拒绝接受并进行处理。
检验的目的是区分那些有很低可能性通过终掩膜检验的晶圆；提供工艺性能和工艺控制数据；及分拣出需要重做的晶圆。
一般使用热板或烘箱来控制温度变化。
光刻工艺中的坚膜工序。
坚膜是在显影后以适当的温度烘干玻璃以除去水分并增强其聚合，收音机曝光显影订制，提高强度的工艺，它增强了胶膜与玻璃的粘附性。
在显影和烘焙之后就是要完成光刻掩膜工艺的质检。
适当地来说应叫显影检验（develop inspect）或DI。
在显影检验工艺，工程师有个判断工艺的性能机会。
显影检验步骤的第二个重要性与在检验时作的拒收有关。
我们一般认为，抓住了问题的关键，其他一切则会迎刃而解。
卡耐基在不经意间这样说过，清新收音机曝光显影，我们若已接受坏的，收音机曝光显影报价，就再没有什么损失。
这不禁令我深思。
我们一般认为，抓住了问题的关键，其他一切则会迎刃而解。
莎士比亚曾经说过，人的一生是短的，但如果卑劣地过这一生，就太长了。
我希望诸位也能好好地体会这句话。
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